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リニアモータ
コアレス形リニアモータ(JTKLシリーズ) :
- 定速特性に優れている
- 高推力・高精密制御
- 推力範囲 : 30N~4000N
- FPD、半導体装備
コア付き形リニアモータ(JTKCシリーズ) :
- 価格性能比に優れた汎用モータ用
- 高推力・高速制御(推力範囲 : 30N~4000N)
- 一般ファクトリーオートメーション及びFPD産業全般
特注リニアモータ
アークモータ :
- 円弧動作型コアレスリニアモータ
- 高分解能、高精度、制御安全性の実現
ミニステージ :
- 半導体、光学部品の製造設備に応用
- 停止時安定性(50nm以下)、早い応答性
垂直位置決定ステージ :
- ボールねじ駆動Z軸精密位置決定ステージ
- リニアエンコーダ付きでフルクローズドループFull closed-loop 制御(オプション)
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