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機械的ベアリングステージ
機械的ベアリングステージ
- サーブマイクロン高精度ステージ
- マルチヘッド、多軸システム
- Z軸オプション
- 標準型及びカスタム設計
- 作業領域の拡大: 2,300mm x 5,000mm
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体生産ライン
エアベアリングステージ
ガントリ、 ハイブリッド、 クロスタイプ
- ナノ級高精度ステージ
- 定速走行
- 標準型及びカスタム設計
- 小型から大型まで多様なサイズに対応
- Z軸オプション
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体の生産ライン
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