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제품소개

Customized Linear Motors

아크모터(JTKA)
- 원호 동작형 Coreless 리니어모터
- 반경 외부 영역에서의 직접 구동으로 고분해능, 제어 안정성 실현
- 대형 액정 기판(8~11세대) 대응 정밀 얼라인먼트 및 인덱스 구동에 최적
- 아크모터의 원주 구동 방식은 중심축 구동 방식의 기존 메카니즘에 비해 기판 대형화에 따른 토오크, 축 흔들림 공차 최소화, 고강성,
낮은 높이, 회전 중심부 공간활용, 엔코더 설치위치의 융통성 등 많은 장점 보유
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Customized Linear Motors

미니스테이지(JSAH)
- 분해능 : 0.1㎛ / 0.5㎛ / 1㎛
- 이동거리 : 20mm ~ 120mm
- 반도체, 광학 부품 제조 설비에 응용
- 정지시 떨림(50nm이하), 빠른 응답성
- 리니어 엔코더를 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화
- 돌출부 없는 콤팩트 디자인으로 공간 효율 설계
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Customized Linear Motors

수직위치결정 스테이지
- 분해능 : 0.1㎛ / 0.5㎛ / 1㎛
- 스트로크 : 10mm ~ 300mm
- 볼스크류 구동Z축 정밀 위치결정 스테이지
- 리니어 엔코더로 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화 및 정밀도 향상(옵션)
- 카메라, 레이저 헤드 등의 수직축 정밀 제어에 최적화된 구조
- 5상 스텝모터 또는 AC 서보 모터 구동
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