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제품소개

LM가이드 스테이지

Frame base Gantry Stage
석정반 없이 경량화, 비용절감, 납기 단축을 하면서 성능을 개선했습니다. 고속운전을 요하는 리페어장치 또는 검사기 용도에 적합합니다

- FEM분석으로 고강성, 공진 억제 강관 프레임 설계/ 진동 억제, 新 제어 알고리즘으로 제어 성능 강화/ 고강성 및 경량 특수 소재 상축 빔(옵션)
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LM가이드 스테이지

Acu-Positioner Ⅱ
Acu-Positioner ACPⅡ 시리즈는 Single 모터로 갠트리 구조를 구현함으로써 비용을 절감시킨 혁신적인 제품입니다.

- Low-cost 표준 모듈 구조
- 콤팩트, 고강성, 경량 설계
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LM가이드 스테이지

Acu-Positioner Ⅲ
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LM가이드 스테이지

Cross Stage
소형 스트로크 시스템에서 경제적인 범용 스테이지입니다.
간단한 제어로 정밀한 위치 제어가 가능합니다.
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LM가이드 스테이지

Gen. 8 High Acceleration Gantry Stage
- Stroke : 2,715mm×2,630mm
- Acceleration : 4m/sec²
- Velocity : 1.6m/sec
- Settling Time : 250msec / ±0.5㎛
- Payload : 230kg
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LM가이드 스테이지

Gen. 5.5 Gantry Stage
- Stroke : 2,110mm×1,650mm
- Accuracy : 2㎛
- Repeatability :±1㎛
- Glass lifting & illumination axis(option)
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LM가이드 스테이지

Gen. 8 Dual Gantry Stage
- Dimension : 3,800mm×4,300mm
- Stroke : 2,510mm×2,590mm
- Repeatability : ±1㎛
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LM가이드 스테이지

Multi-Mover Dual Gantry Stage
- Stroke : 2,100mm×2,100mm
- In-position stability : ±0.05㎛
- Repeatability :±1㎛
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LM가이드 스테이지

300mm Wafer Cross Stage
- Stroke : 350mm×700mm
- Acceleraton : 10m/sec²
- Velocity : 1.5m/sec
- Accuracy : 3㎛
- Settling Time : 250msec/±0.5㎛
- Payload : 20kg
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LM가이드 스테이지

Water Proof Linear Motor
- Stroke : 1,600mm
- Payload : 500kg
- Water splashing environment
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LM가이드 스테이지

High Acceleration Cross Stage
- Motor : 7,200N(하축)×3,600N(상축) (core type)
- Stroke : 800mm×800mm
- Accelertion : 10m/sec²
- Velocity : 1.5m/sec
- Settling Time : 80msec/±2㎛
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LM가이드 스테이지

Mini Multi Head Linear Motor
- Head span : 50mm
- Repeatability : ±1㎛
- Applications : glass scriber / dispenser
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LM가이드 스테이지

갠트리, 하이브리드, 크로스타입
- 서브 마이크론 고정도 스테이지 멀티헤드, 다축 시스템
- Z축 옵션

- 표준형 및 전용장비 설계
- 작업영역의 확대: 2,300mm x 5,000mm

- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인
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