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수직위치결정 스테이지

- 분해능 : 0.1㎛ / 0.5㎛ / 1㎛
- 스트로크 : 10mm ~ 300mm
- 볼스크류 구동Z축 정밀 위치결정 스테이지
- 리니어 엔코더로 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화 및 정밀도 향상(옵션)
- 카메라, 레이저 헤드 등의 수직축 정밀 제어에 최적화된 구조
- 5상 스텝모터 또는 AC 서보 모터 구동

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