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미니스테이지(JSAH)
- 분해능 : 0.1㎛ / 0.5㎛ / 1㎛
- 이동거리 : 20mm ~ 120mm
- 반도체, 광학 부품 제조 설비에 응용
- 정지시 떨림(50nm이하), 빠른 응답성
- 리니어 엔코더를 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화
- 돌출부 없는 콤팩트 디자인으로 공간 효율 설계
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