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LM가이드 스테이지
갠트리, 하이브리드, 크로스타입
- 서브 마이크론 고정도 스테이지 멀티헤드, 다축 시스템
- Z축 옵션

- 표준형 및 전용장비 설계
- 작업영역의 확대: 2,300mm x 5,000mm

- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인
에어베어링 스테이지
갠트리, 하이브리드, 크로스타입

- 나노급 고정도 스테이지
- 급가감속 및 정속 주행

- 표준형 및 전용장비 설계
- 소형부터 대형까지 다양한 사이즈 대응
- Z축 옵션

- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인

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